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電子束蒸發(fā)(關于電子束蒸發(fā)的簡介)

2022-08-11 05:00:45 編輯:水鵬雅 來源:
導讀 大家好,電子束蒸發(fā),關于電子束蒸發(fā)的簡介很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!1、真空蒸發(fā)工藝是將固體材料置于高真空環(huán)境中加熱,

大家好,電子束蒸發(fā),關于電子束蒸發(fā)的簡介很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!

1、真空蒸發(fā)工藝是將固體材料置于高真空環(huán)境中加熱,使之升華或蒸發(fā)并淀積在特定的襯底上,以獲得薄膜的工藝方法。

2、真空蒸發(fā)工藝在微電子技術中主要用于制作有源元件、器件的接觸及其金屬互連、高精度低溫度系數的薄膜電阻器,以及薄膜電容器的絕緣介質和電極等。

本文關于電子束蒸發(fā)的簡介就講解完畢,希望對大家有所幫助。


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